Jak powstaje filtr Bayera?

Po wcześniejszym pytaniu na temat filtrów Bayera zastanawiałem się:

Jak są one faktycznie produkowane? Jak nakładają tak małą ilość barwnika na każdy subpiksel?

Moim zdaniem będzie to trawienie chemiczne oparte na optyce, a następnie kąpiel farbiarska ... (na kolor)

Z streszczenia tego artykułu Matryca filtrów kolorów dla czujników obrazu CCD i CMOS wykorzystujących chemicznie wzmocniony termicznie utwardzony, wstępnie barwiony fotorezyst z dodatnim tonem do litografii 365 nm

Fotorezyst diazonafto-chinonowo-nowolakowy jest stosowany do wytwarzania tych filtrów przez sukcesywne osadzanie i modelowanie każdej warstwy koloru.

Rozumiem ten cytat, że proces jest następujący

1. Fotorezyst (polimer i środek uczulający, który jest względnie przezroczysty w widzialnym, ale silnie absorbujący w UV od 450 nm) z dodatkiem barwnika (czerwony, zielony lub niebieski) osadza się na powierzchni czujnika
2. Nad fotorezystem umieszczona jest maska ​​z metalowym wzorem
3. Odmaskowany obszar fotorezystu jest eksponowany przez źródło światła UV, na które przekształca się diazonafto-chinon
4. Maska jest usunięta
5. Odsłonięty element fotolitograficzny rozpuszcza się w wodnym rozpuszczalniku, nienaświetlony obszar nie rozpuszcza się tak łatwo i dlatego pozostaje
6. 1-5 są powtarzane przy użyciu różnych barwników i różnych masek

Zobacz en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone w celu uzyskania opisu działania tego fotorezystora.