Jak wypełnić komorę próżniową gazem pod niskim ciśnieniem

Mam komorę próżniową, którą chciałbym zasypać 15 mTorr argonu. Problem w osiągnięciu tego polega na tym, że większość regulatorów ciśnienia nie jest w stanie wywierać tak niskiego ciśnienia. Czy istnieją regulatory, które dokładnie regulują ciśnienia na poziomie mTorr, czy też istnieje inne podejście do wypełniania systemu próżniowego pod niskim ciśnieniem?

Najprostszym sposobem na to byłoby zaprojektowanie własnego.

Dostępna w handlu sprężyna o średnicy zewnętrznej 9 mm, długości 19 mm i średnicy drutu. 1 mm ma współczynnik 3,15 N / mm, przy długości kompresji 11,5 mm. Ustawiając najniższy możliwy regulator przed domowym regulatorem, ustaw dużą membranę w komorze rozprężnej o średnicy 1m.

Następnie umieść tę dostępną w handlu sprężynę po obu stronach membrany. Przy 15 mTorr sprężyny powinny odchylać się o sterowane 0,5 mm, co może być użyte do regulacji zaworu grzybkowego. Kluczem jest bardzo duża komora rozprężna i bardzo mała sprężyna o bardzo precyzyjnym tempie sprężyny. Aby zapobiec przesuwaniu się sprężyny, komora rozprężna będzie musiała zostać ewakuowana, a małe sprężyny muszą być umieszczone ostrożnie, aby zapewnić, że krawędzie się nie zwiążą, ale nie zapadną się ani nie zapadną. Nie powinno to stanowić problemu, ponieważ sprężyny są dobrze zaprojektowane, ale należy o tym pamiętać przy projektowaniu komory rozprężnej.