Oczywiście, że to możliwe. Istnieje wiele firm, które świadczą te usługi. Prawdziwe pytanie brzmi, czy możesz to zrobić w domu.
Możesz uciec bez potrzeby SEM (skaningowego mikroskopu elektronowego), ten projekt można wykonać w geometrii ~ 3u, którą można sobie wyobrazić przy użyciu światła widzialnego.
Będziesz potrzebował mokrej ławki do wytrawiania warstw, takich jak HF dla SiO2, ale będziesz również musiał usunąć Si3N4, SiON i aluminium. Możliwe, że będziesz potrzebować suchego wytrawiania (plazma Ar w komorze próżniowej), aby usunąć zatyczki wolframowe w przelotach.
Waszymi głównymi problemami będą dokładne wartości rezystorów i kondensatorów (jeśli takie istnieją). Wyznaczenie granic implantów podłoża (dekoracja z bardziej nieprzyjemnymi chemikaliami na mokrej ławce) i określenie profili domieszkowania. Profile domieszkowania można łatwo uzyskać w jednostce SIMS (spektrometr mas jonów wtórnych), ale niektóre szczegóły strukturalne implantów w FEOL (Front End of Line) mogą być subtelne.
Będą istnieć subtelne grubości warstw, które należy zmierzyć, zanim zostaną uszkodzone lub zmniejszone przez mokre trawienie.
Nastąpi znaczna topografia powierzchni matrycy (wówczas CMP nie istniał), więc głębia ostrości może skomplikować robienie zdjęć.
Jest mało prawdopodobne, abyś był w stanie uzyskać dokładnie taką charakterystykę tranzystora, jaką miał oryginalny układ. Naprawdę musisz zrozumieć nie tylko przetwarzanie, ale także fizykę tranzystorów i rolę różnych implantów.
Po stronie pozytywów, jeśli miał kilka żetonów (co byłoby potrzebne) może być w stanie wyzwolić dostęp do tranzystora i móc umieścić go na znacznika krzywej zmierzyć bezpośrednio. Rozmiar funkcji jest wystarczająco duży, a ponieważ jest to układ analogowy, prawdopodobnie zawierałby w sobie duże tranzystory. Ale nie ma w tym pewności.
Inną dobrą wiadomością jest to, że można kupić stare SEM za niski koszt. Tylko kilka 10 000 $ i choć są ziarniste, ten układ ma duże funkcje. Pamiętaj, jeśli masz jednostkę SIMS, która może również obrazować (jest to zmodyfikowany SEM), abyś mógł uciec bez powielania eqt.