Będzie to odpowiedź „meta” odnosząca się do innych odpowiedzi w celu skorygowania niektórych nieporozumień.
Podczas produkcji VLSI stosuje się różne rozdzielczości litografii na różnych poziomach, a TYLKO najnowocześniejsze i najdrobniejsze szczegóły są używane na poziomie definicji GATE. Nawet kroki poprzedzające definicję poli krzemu są wykonywane przy użyciu starszych narzędzi litograficznych (takich jak definicja obszaru aktywnego STI - LOCOS itp.).
Powód jest bardzo prosty, po co używać najbardziej zaawansowanych (a więc i najdroższych) narzędzi, które używają najdroższych masek do definiowania warstw, które z natury wymagają mniejszej rozdzielczości?
Rzeczywiście, top Metal ma tendencję do bycia bardzo grubym, aby utrzymać więcej prądu, aby zapobiec elektro-migracji i zmniejszyć opór szyn zasilających.
Na przykład w procesie 180 nm bramę definiuje się za pomocą litografii opartej na laserze KrF przy 248 nm z maską zmiany fazy 5X. Służy to również kontaktom. Metal 1 można wykonać krokowo, niż przy użyciu i-line @ 365nm, a także maski 5X, ale bez zastosowanej korekcji fazy.
Chodzi o to, że górne warstwy układu mają znacznie niższą rozdzielczość i znacznie wyższy skok niż to, co proces jest „definiowany jako” - i nawet ta definicja jest często funky.
Sprawdziłem, że górny metal może mieć minimalny rozmiar elementów tak duży jak 3um w powyższym procesie 180 nm.
Pasywacja na górze matrycy zazwyczaj obejmuje albo Si3N4 albo poliimid. Który został usunięty z tych zdjęć.
Najbardziej prawdopodobne jest to, że te zdjęcia są w rzeczywistości obrazami widzialnymi wykonanymi pod mikroskopem. Kolory mogą wynikać z tego, że wysokość struktur jest rzędu długości fali światła i ma działanie dyfrakcyjne. Ale ponieważ nie mamy skali, nie można być pewnym.
Ale może to być ElectronMicrograph, który został pokolorowany pod kątem „ładności”. Wydaje się, że pochodzi z okładki książki i kto wie, co tam robi dział sztuki.
Nie chcę więc mówić, że jest to albo optyczne, albo SEM. @ W5VO zauważa, że głębia ostrości wydaje się zbyt duża dla optyki i zgadzam się. Ponieważ nie znamy tutaj skali, struktura ta może łatwo wynosić 10 mikronów, biorąc pod uwagę epokę.
Nigdy nie słyszałem o mikrogramie elektronowym - zgodnie ze standardowymi konwencjami nazewnictwa, które przekładałyby się na „małą wiadomość elektronową”, również nie mogę znaleźć linków do żadnej wzmianki o tym. Chciałbym więc usłyszeć, co to może być.